ACE i300

性能良好，多項關(guān)鍵工藝指標(biāo)達到領(lǐng)域先進水平。ACE i300依托北方華創(chuàng)多年的刻蝕經(jīng)驗積累，采用高密度、低損傷等離子源設(shè)計，同時配備北方華創(chuàng)成熟的遠(yuǎn)程ICP（電感耦合等離子體源）技術(shù)，達到高水平的去膠速率，并實現(xiàn)去膠損傷抑制；采用獨立腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計，實現(xiàn)均勻的流場分布，去膠均勻性表現(xiàn)良好；腔室壁配備獨立控溫系統(tǒng)，實現(xiàn)良好的顆粒控制水平。

以市場為導(dǎo)向，為客戶創(chuàng)造更大價值。ACE i300可配置大氣、真空兩種傳輸平臺，滿足客戶不同工藝需求；同時，搭配雙腔(twin-chamber)設(shè)計，產(chǎn)能表現(xiàn)優(yōu)秀；機臺維護便捷，關(guān)鍵耗材使用壽命長，滿足客戶低成本運維需求。

作為國產(chǎn)刻蝕設(shè)備的開拓者及引航者，北方華創(chuàng)將始終以科技創(chuàng)新為驅(qū)動，不斷開拓刻蝕領(lǐng)域全新應(yīng)用，助力更多客戶實現(xiàn)更大價值，推動產(chǎn)業(yè)進步，創(chuàng)造無限可能！

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